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    近年来射频微电子系统(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到广泛关注,特别是MEMS开关构建的移相器与天线,是实现上万单元相控阵雷达的关键技术,在军事上有重要意义。然而R

    2013-10-09 11:41

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    2017-12-07 04:55

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    2018-04-13 11:33

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    2018-08-08 10:57

  • 基于MEMS技术的微波滤波器研究进展

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    2014-02-25 11:40

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    2018-05-19 01:23

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    2013-07-23 15:27

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    2020-07-10 11:50