分离式干涉镜的激光干涉仪系统在
2017-02-14 16:45
补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。s
2022-05-19 08:59
反射镜的移动来实现线性定位测量。 使用激光干涉仪测量定位误差，并用检定
2017-07-17 17:54
激光干涉仪利用激光作为长度基准，可以对数控设备（加工中心、三坐标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（俯仰扭摆
2022-12-12 10:31
