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  • 光刻机工艺的原理及设备

    ,所以光刻机就选择了改变光源,用13.5nm波长的EUV取代193nm的DUV光源,这样也能大幅提升光刻机的分辨率。  在上世纪90年代后半期,大家都在寻找取代193n

    2020-07-07 14:22

  • 光刻机是干什么用的

    光刻机本身的原理,其实和相机非常相似,同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理,是被摄物体被光线照射所反射的光线,透过相机的镜头,将影像投射并聚焦在相机的底片(感光元件)上,如此便可

    2020-09-02 17:38

  • 技术能否助力国产芯片摆脱光刻机?

    光刻机是我国芯片制造业一大痛点,目前,在EUV光刻机赛道中,仅有ASML一个玩家。

    2021-03-02 15:29

  • 什么是光刻机的套精度

    在芯片制造的复杂流程中,光刻工艺是决定晶体管图案能否精确“印刷”到硅片上的核心环节。而光刻Overlay(套精度),则是衡量光刻机将不同层电路图案对准精度的关键指标。

    2025-02-17 14:09

  • duv光刻机和euv光刻机区别是什么

    目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术

    2022-07-10 14:53

  • 光刻机无法被取代?华为芯片技术曝光

    众所周知,想要在芯片领域打破由欧美国家所垄断的市场,必须要解决光刻机的问题,这是传统硅基芯片制造过程中最为重要的一环。而在光刻机领域,荷兰的ASML则是光刻机领域金字塔最顶尖的企业,尤其是在极紫外光领域

    2021-04-16 14:31

  • 光刻机的分类与原理

    本文主要介绍光刻机的分类与原理。   光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类,光刻设备有前道和后道之分。前道光刻

    2025-01-16 09:29

  • 光刻机原理介绍

    光刻机,是现代光学工业之花,是半导体行业中的核心技术。        可能有很多人都无法切身理解光刻机的重要地位,光刻机,是制造芯片的机器,要是没有了

    2021-07-07 14:31

  • 光刻机干啥用的

    光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前有用于生产的光刻机,有用于LED制造领域的光刻机,还有用于封装的光刻机光刻机是采用

    2022-02-05 16:03

  • 一文详解光刻机技术

    最近光刻机十分火,我们经常听到别人说7纳米光刻机、5纳米光刻机,但其实严格意义上来说并不存在7纳米光刻机,5纳米光刻机

    2020-10-19 11:42