掩模版（Photomask）又称光罩、光掩模、光刻掩模版、掩膜版、掩膜板等，是光刻工艺中关键部件之一，是下游行业产品制造过程中的图形“底片”转移用的高精密工具
2023-12-25 11:41
依托于光刻机的光罩(Litho)工艺是半导体芯片加工流程中的核心工艺，光罩的层数是影响半导体芯片工艺复杂度及加工成本的关键指标。当代沟槽-场截止型IGBT一般采用9-1
2023-09-21 11:40
Borodovsky在采访中表示，另一个可能导致5nm缺陷的因素是现有的EUV光阻剂材料缺乏均匀度。此外，他还表示支持直接电子束写入，因为EUV使用的复杂相移光罩最终将膨胀至目前浸润式
2018-04-11 15:59
在人工分解流程，设计工程师手动绘制两张光罩层。分解的精确性是通过传统的设计规则检查（DRC）工具进行验证的，比如检查光罩间的间隔约束。但是，设计工程师必须人工确定如何在
2018-01-28 13:35
左边最上面一行显示了一个与其本身有最小间距问题的单个多边形。换言之，被高亮显示的最小间距在多边形的边缘之间是不允许的，除非多边形的边属于不同光罩。因为所有涉及最小间距的多边形的边均位于同一多边形上
2018-06-07 10:37
先将光阻材料放在晶圆片上，透过光罩将光束打在不要的部分上，破坏光阻材料结构。接着，再以化学药剂将被破坏的材料洗去。
2019-12-19 14:47
大型芯片制造商至少在最后几个工艺节点上受到光罩区域尺寸的限制，这极大地限制了平面 SoC 上可填充的功能数量。
2024-03-20 13:59
设计时我加了屏蔽罩，结果在测试的时候不加屏蔽罩的效果要比加了屏蔽罩的效果好，这是为什么？
2019-08-07 16:56
本文主要阐述了罩极电机工作原理及罩极电机的优缺点。
2020-08-31 17:12
罩极电机是一种简单的自起动交流单相感应电机，是一种小型鼠笼式电机，其中一个辅助绕住被铜环围绕，铜环也被称为罩极环或蔽极环，这个铜环用作电机的二次绕组。
2023-07-24 15:25
