针对自由曲面能提升成像光学系统的性能和校正像差的特点，分析了自由曲面在离轴光学系统中的应用优势。
2023-09-10 09:06
的观测和导航具有重要意义。 2.优秀的像差纠正能力 离轴光学系统可以有效地纠正各种类型的像差，包括像散和球差。像差是光学系统中
2025-02-12 06:15
。照明系统是光刻机的重要组成部分，其主要作用是提供高均匀性照明、控制曝光剂量和实现离轴
2023-07-17 11:02
光学光刻是通过广德照射用投影方法将掩模上的大规模集成电路器件的结构图形画在涂有光刻胶的硅片上，通过光的照射，光刻胶的成分发生化学反应，从而生成电路图。限制成品所能获得的
2023-10-24 11:43
，利用各种波前技术优化工艺参数也是提高分辨率的重要手段。这些技术是运用电磁理论结合光刻实际对曝光成像进行深入的分析所取得的突破。其中有移相掩膜、离
2019-01-02 16:32
技术面临更高要求和挑战，人们提出了浸没式光刻（Immersion Lithography），离轴照明（Off Axis
2021-04-19 14:21
计算光刻 (Computational Lithography)技术是指利用计算机辅助技术来增强光刻工艺中图形转移保真度
2022-10-26 15:46
机器识别技术光学照明建模方法
2022-11-21 10:13
智能照明离真正落地还有多远？“目前，有些迷茫。”不少照明厂商在谈到当前照明产业形势时说到。随着终端需求的疲软，照明厂商头
2019-08-02 10:06
