提要：本文讨论了光学光刻中的离轴照明
2010-11-11 15:45
针对自由曲面能提升成像光学系统的性能和校正像差的特点，分析了自由曲面在离轴光学系统中的应用优势。
2023-09-10 09:06
的观测和导航具有重要意义。 2.优秀的像差纠正能力 离轴光学系统可以有效地纠正各种类型的像差，包括像散和球差。像差是光学系统中
2025-02-12 06:15
。照明系统是光刻机的重要组成部分，其主要作用是提供高均匀性照明、控制曝光剂量和实现离轴
2023-07-17 11:02
随着半导体技术的发展，光刻技术传递图形的尺寸限度缩小了2～3个数量级（从毫米级到亚微米级），已从常规光学技术发展到应用电
2012-01-12 10:51
光学光刻是通过广德照射用投影方法将掩模上的大规模集成电路器件的结构图形画在涂有光刻胶的硅片上，通过光的照射，光刻胶的成分发生化学反应，从而生成电路图。限制成品所能获得的
2023-10-24 11:43
，利用各种波前技术优化工艺参数也是提高分辨率的重要手段。这些技术是运用电磁理论结合光刻实际对曝光成像进行深入的分析所取得的突破。其中有移相掩膜、离
2019-01-02 16:32
本文详述了LED照明中光学设计的作用；各类LED照明对技术的要求；利用光学
2017-10-20 09:11
GK-1000光刻掩膜版测温仪，光刻机曝光光学系统测温仪光刻机是一种用于微纳米加工的设备，主要用于制造集成电路、光电子器件、MEMS（微机电系统）等微细结构。
2023-07-07 11:46 安徽鼎诺仪器科技有限公司 企业号
技术面临更高要求和挑战，人们提出了浸没式光刻（Immersion Lithography），离轴照明（Off Axis
2021-04-19 14:21
