美国Tekscan公司的压力分布测量系统I-SCAN，搭配目前世界上最薄的压力传感器（厚度仅为0.1mm)，对硅片抛光过程中的压力分布情况进行检测，并改善抛光设备的性能，使其达到最佳的抛光效果，提升产品的品质，降低不良率。此前的硅片抛光过程中，工程师对于硅片抛光的压力分布情况很难知晓，对于设备的调整基本上属于凭借经验来判断，这种主观性的判断难免带来不准确的因素，产生偏差。I-SCAN系统测量压力分布，操作极其简便，只需将薄膜型压力感测片放置于待测的抛光头与抛光盘之间，通过专用的数据采集器将感测片与笔记本电脑相连接，就可以实时的观察硅片表面的压力分布情况，对于不合理的压力分布，可以完全的呈现给工程师，以便及时的对设备做出调整，从而达到最佳的压力分布状态。 I-SCAN系统不仅可以收集静态的压力分布信息，还能够观察动态压力变化的情形，如下图所示，图2和图3表明硅片的外部区域拥有较低的压力分布，内部压力分布状态也不是很均匀，是需要工程师进行改进的地方。而图4则为抛光头与硅片间横向界面的压力分布曲线。麦思科技北京代表处 赵洋 ***zhaoyang.723@163.com
2013-12-24 16:01
陶瓷气体放电管选型要点： 1.电压选型 单独使用GDT：弧光压要高于用户的正常工作电压，并留有一定的余量。 与MOV配合使用：直流击穿电压要高于用户的正常工作电压，并留有一定的余量
2020-12-17 16:40
`美国Tekscan公司研发的I-SCAN系统可以解决晶圆制作过程中抛光头与晶圆接触表面压力分布不均匀，导致高不良率出现的问题。在实验过程中只需要将目前世界上最薄的压力传感器（0.1mm)放置于抛光头底部，即可量测抛光头与晶圆接触面的实时压力分布状况。因此可以在仪器操作配置时，可以平衡这些压力，改善仪器的使用工况，降低不良率，提高产能。I-SCAN系统不仅能够收集静态的压力资讯，还可以观察压力不断变化时的动态数据。图2和图3所示为2D及3D压力分布显示图，从两张图中可以看出，晶圆的外围区域压力比较低，而图4则为抛光头与晶圆间横向截面的压力分布曲线。如果有兴趣了解的朋友可以与我联系麦思科技有限公司北京代表处 赵洋电话：***邮箱：zhaoyang.723@163.com`
2013-12-04 15:28
：3、与测试发射器不同的是，测试接收器时，光信号的质量必须足够差，因此，必须创造出一种代表最差信号的光压力眼图，这种最差的光信号必须通过抖动测量和光功率测试来进行校准。4、最后，需要测试接收器的电子
2022-04-14 20:46
时间来恢复对目标的捕捉。激光致盲利用快速、不规则的强力闪光和持续照射，迫使红外探测系统在不断调整增益中丢失目标，甚至在调整不及中造成光敏元件的永久性损坏，破坏制导。 空军一号机尾的激光压制系统 激光压
2016-01-12 16:24
的原理是基于后者，太阳帆反射光线，利用光子的动量产生动力（光压），光子具有能量、动量和质量。但上述原理与电磁波受反射产生作用力的内在机制有所不同，电磁波通过上述方式的能量转化率比反射电磁波的方式更高。对于太阳帆，光线照到帆面上，只有一小部分能量转到太阳帆，大部分都被反射出去。
2019-09-16 11:13
测物理量的信息。Bragg光纤光栅传感器的研究主要集中在温度和应力的准分布式测量上。温度和应力的变化所引起的λB漂移可表示为： 式中，ε为应力，P[i，j]为光压系数，v为横向变型系数(泊松比)，α为热胀
2018-11-02 16:13
有油墨堆积、起皱、龟裂的现象。 2、不允许油墨起泡或油墨结合力不好的现象（3M胶带测试不合格）。 3、不允许油墨表面有明显曝光压印（花斑）。局部不明显压印每面不超过板面积的5%。 4、平行线两侧
2023-03-31 15:13
