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2008-06-26 13:36
实际过程肯定没这么简单，上图是ASML典型的沉浸式步进扫描光刻机为例来看下光刻机是怎么工作的——首先是激光器发光，经过矫正、能量控制器、光束成型装置等之后进入光掩膜台，上面放的就设计公司做好的光掩膜
2020-07-07 14:22
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2008-06-12 22:26
把被摄物体的影像复制到底片上。 而ASML光刻机在做的光刻，我们称之为微影制程，原理是将高能雷射光穿过光罩（reticle），将光罩上的电路图形透过聚光镜（projectionlens），将影像缩小
2020-09-02 17:38
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2008-06-12 22:23
而作为全球半导体设备光刻机龙头，ASML也非常重视在中国的发展。据ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波介绍，自1988
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