45-50台的交付量。这其中很大一部分都供给了台积电,用于扩充5nm,以及7nm产能。中微半导体除光刻机之外,蚀刻机也是5nm
2020-03-09 10:13
,光源是ArF(氟化氩)准分子激光器,从45nm到10/7nm工艺都可以使用这种光刻机,但是到了7nm这个节点已经的DUV光刻
2020-07-07 14:22
从7nm到5nm,半导体制程芯片的制造工艺常常用XXnm来表示,比如Intel最新的六代酷睿系列CPU就采用Intel自家的14nm++制造工艺。所谓的XXnm指的是集成电路的MOSFET晶体管栅极
2021-07-29 07:19
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造,光刻机作为集成电路制造中最关键的设备,对芯片制作工艺有着决定性的影响,被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”,根据之前中芯国际的公报,目...
2021-07-29 09:36
的要求则反过来,我们要确保影像要绝对清晰,就要将对焦点落在光阻上,并且确保光阻绝对不可落到景深范围之外。那ASML的光刻机景深有多大呢? 所以我们就是要把光阻移到这个100nm的范围之内,是不是有点
2020-09-02 17:38
们的投入中,80%的开支会用于先进产能扩增,包括7nm、5nm及3nm,另外20%主要用于先进封装及特殊制程。而先进工艺中所用到的EUV极紫外光刻机,一台设备的单价就可
2020-02-27 10:42
随着半导体产业技术的不断发展,芯片制程工艺已从90nm、65nm、45nm、32nm、22nm、14
2019-12-10 14:38
10nm、7nm等到底是指什么?芯片工艺从目前的7nm升级到3nm后,到底有多大提升呢?
2021-06-18 06:43
台积电宣布5nm基本完工开始试产:面积缩小45%、性能提升15%.pdf(105.52 KB)
2019-04-24 06:00
求一份tsmc 7nm standard cell library求一份28nm或者40nm 的数字库
2021-06-25 06:39