EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造,光刻机作为集成电路制造中最关键的设备,对芯片制作工艺有着决定性的影响,被誉为“超精密制造技术皇冠
2021-07-29 09:36
把被摄物体的影像复制到底片上。 而ASML光刻机在做的光刻,我们称之为微影制程,原理是将高能雷射光穿过光罩(reticle),将光罩上的电路图形透过聚光镜(proje
2020-09-02 17:38
关于光刻工艺的原理,大家可以想象一下胶片照片的冲洗,掩膜版就相当于胶片,而光刻机就是冲洗台,它把掩膜版上的芯片电路一个个的复制到
2020-07-07 14:22
微米之间,此间隙可以大大减少对掩膜版的损伤.接近式暴光的分辨率较低,一般在2~4微米之间,因此接近式光刻机只能装配在特征尺寸交大的集成电路生产线中.接触或接近式光刻机的主要优点是生产效率较高。 ◆接触式
2012-01-12 10:56
各种模拟信号(指幅度随时间变化的信号。例如半导体收音机的音频信号、录放机的磁带信号等),其输入信号和输出信号成比例关系。而数字集成电路用来产生、放大和处理各种数字信号(指在时间
2019-04-13 08:00
、协调发展的基础上积累资本,带动半导体设备的更新和新的投入;IC设计业作为集成电路产业的"龙头",为整个集成电路
2020-02-12 16:11
电子直写光刻机驻极体圆筒聚焦电极 随着科技进步,对电子显微镜的精度要求越来越高。电子直写光刻机的精度与电子波长和电子束聚焦后的焦点直径有关,电子波长可通过增加加速电极电压来减小波长,而电子束聚焦后
2025-05-07 06:03
文章编号:1003-353X(2005)06-0032-051 引言作为微电子技术核心的集成电路制造技术是电子工业的基础,其发展更新的速度是其他产业无法企及的。在集成电路制作过程中,
2018-08-23 11:56
Processor-DSP)8.2产业格局与产业结构集成电路的生命力在于它可以大批量、低成本和高可靠地生产出来。集成电路芯片价格:101 ~ 102美元生产线的投资:
2018-08-24 16:30
如果国家以两弹一星的精神投入光刻机的研发制造,结果会怎样?
2020-06-10 19:23