EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造，光刻机作为集成电路制造中最关键的设备，对芯片制作工艺有着决定性的影响，被誉为“超精密制造技术皇冠
2021-07-29 09:36
和性能水平，光刻成为 IC 制造中最复杂、最关键的工艺步骤， 光刻的核心设备——***更是被誉为半导体工业皇冠
2019-01-08 11:02
光刻机是半导体制造设备中价格占比最大，也是最核心的设备，是附加价值极高的产品，被誉为是半导体产业皇冠上的
2020-03-19 13:55
，是半导体产业皇冠上的明珠。芯片的加工过程对精度要求极高，光刻机通过一系列复杂的技术手段，将光束透射过画着线路图的掩模，
2024-11-24 09:16
。改变这种状况，缩小与国际先进水平间的差距还需要长期的努力。 光刻机是皇冠上的明珠 光刻机究竟有多重要，
2018-06-03 10:35
作为信息化时代的核心基石，集成电路的重要性逐渐为人们所认知。但是发展集成电路是一项系统性工程，它涉及设计、制造、封测、材料、设备等全产业链的整体提升。而光刻机就是
2018-07-13 17:25
光刻机是芯片制造的重要设备，内部结构精密复杂，它决定着芯片的制程工艺，是芯片生产中不可少的关键设备，而且光刻机的技术门槛极高，整个设备的不同部位采用了世界上最先进的技术，如德国的光学设备、美国的计量设备等，可以说是“
2020-03-14 10:58
光刻机是半导体制造中的核心装备，其中包含了数以万计的精密零件，被誉为“半导体工业皇冠上的一颗明珠”。
2020-11-16 11:06
关于光刻工艺的原理，大家可以想象一下胶片照片的冲洗，掩膜版就相当于胶片，而光刻机就是冲洗台，它把掩膜版上的芯片电路一个个的复制到
2020-07-07 14:22
把被摄物体的影像复制到底片上。 而ASML光刻机在做的光刻，我们称之为微影制程，原理是将高能雷射光穿过光罩（reticle），将光罩上的电路图形透过聚光镜（proje
2020-09-02 17:38
