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  • 茂莱光学成功实现光刻机核心光学器件的部分国产替代

    光刻机被业界誉为集成电路产业皇冠上的明珠,其研发的技术门槛和资金门槛非常高,全球光刻机主要制造厂商主要包括荷兰的 ASML、日本的 Nikon、日本的 Cannon、美国的 Ultratech 以及

    2020-09-02 17:41

  • euv光刻机难在哪里

     在半导体制造过程中,光刻机是最核心的设备,同时,也是研发难度最高的设备。

    2022-07-07 09:38

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    2020-11-13 09:28

  • 光刻机工艺的原理及设备

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    2020-09-02 17:38

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    2022-01-03 17:09

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    2024-04-29 14:25

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    本文主要介绍光刻机的分类与原理。   光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类,光刻设备有前道和后道之分。前道光刻

    2025-01-16 09:29