目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,
2022-07-10 14:53
关于光刻工艺的原理,大家可以想象一下胶片照片的冲洗,掩膜版就相当于胶片,而光刻机就是冲洗台,它把掩膜版上的芯片电路一个个的复制到
2020-07-07 14:22
5nm光刻技术与ASML光刻机有何区别? EUV光刻机产能如何? 大飞_6g(听友) 请问谢博士,EUV
2021-03-14 09:46
!光刻机本身的原理,其实和相机非常相似,同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理,是被摄物体被光线照射所反射的光线,透过相机的镜头,将影像投射并聚焦在相机的底片(感光元件)上,如此便可
2020-09-02 17:38
最近光刻机十分火,我们经常听到别人说7纳米光刻机、5纳米光刻机,但其实严格意义上来说并不存在7纳米光刻机,5纳米光刻机,
2020-10-19 11:42
大家都知道,光刻机是芯片制造过程当中一个重要的环节,光刻机直接决定着芯片的质量。而我国作为全球最大的芯片消费国之一,每年进口的芯片都达到几万亿人民币。
2020-03-08 16:42
芯片是半导体中的积分器,目前芯片的利用率很高,要想在技术领域有所突破,就必须在芯片领域发展。在芯片制造中,最受关注的是光刻机的发展。到目前为止,我国光刻机制造领域还比较缺乏机械。我们的
2020-08-02 10:32
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类,光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
经过十年的自主创新,上海光刻设备工程技术跻身世界一流,成功打破国际垄断。7日,上海举办光刻机十年成果汇报暨上海微电子装备有限公司十年回顾活动。
2012-04-09 09:02
光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前有用于生产的光刻机,有用于LED制造领域的光刻机,还有用于封装的光刻机。
2022-02-05 16:03