关于光刻工艺的原理,大家可以想象一下胶片照片的冲洗,掩膜版就相当于胶片,而光刻机就是冲洗台,它把掩膜版上的芯片电路一个个的复制到光刻胶薄膜上,然后通过刻蚀技术把电路
2020-07-07 14:22
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造,光刻机作为集成电路制造中最关键的设备,对芯片制作工艺有着决定性的影响,被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”,根据之前中芯国际的公报,目...
2021-07-29 09:36
!光刻机本身的原理,其实和相机非常相似,同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理,是被摄物体被光线照射所反射的光线,透过相机的镜头,将影像投射并聚焦在相机的底片(感光元件)上,如此便可
2020-09-02 17:38
出现误差。传统聚焦手段已不能满足电子直写光刻机对电子束质量的要求。 只有对聚焦电极改进才是最佳选择,以下介绍该进后的电极工作原理。通过把电子束压缩到中心线达到缩束的目的,使电子束分布在一条直线
2025-05-07 06:03
是分步投影光刻机.利用分步投影光刻机,再结合移相掩膜等技术,已经得到了最小线宽0.10微米的图形。 ◆接近式暴光与接触式暴光相似,只是在暴光时硅片和掩膜版之间保留有很小的间隙,这个间隙一般在10~25
2012-01-12 10:56
如果国家以两弹一星的精神投入光刻机的研发制造,结果会怎样?
2020-06-10 19:23
CDMA原理与关键技术
2012-08-16 20:25
支持• HDMI、3路MIPI CSI、双路MIPI DSI等众多丰富的接口扩展图2 基于业界领先处理器的核心计算模块图3 Qaulcomm 一体机产品四.关键技术介绍:1.视觉:1.1.畸变矫正,色散
2018-09-21 10:51
由于视觉导航技术的应用越来越普及 ,因此 ,有必要对视觉导航中的关键技术及应用进行研究。文章对其中的图像处理技术和定位与跟踪技术进行了详细研究 ,并与此相对应 ,介绍的
2023-09-25 08:09
什么是RF MEMS?有哪些关键技术与器件?微电子机械系统(MicroElectroMechanicalSystem),简称MEMS,是以微电子技术为基础而兴起发展的,以硅、砷化镓、蓝宝石等为衬底
2019-08-01 06:17