本文以光刻机为中心,主要介绍了光刻机的分类、光刻机的结构组成、光刻机的性能指标、
2017-12-19 13:33
纳米级别的分辨率。本文将详细介绍光刻机的主要组成部分及其功能。 光源系统 光源系统是光刻机的心脏,负责提供曝光所需的能量。早期的光刻机使用汞灯作为光源,但随着技术的
2025-01-07 10:02
数控机床的基本组成、组成部分 数控机床一般由控制介质、数控装置、伺服系统和机床本体组成。图1—2的实线所示为开环控制的数控机床框图。
2009-05-06 21:38
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类,光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
示波器是一种用来测量交流电或脉冲电流波的形状的电子仪器,用途十分广泛。那么示波器是由哪些部分组成呢?接下来给大家简单介绍下关于示波器的组成部分。 (一)显示电路 显示电路包括示波管及其控制电路两个
2022-09-23 15:34
目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
光刻机,是现代光学工业之花,是半导体行业中的核心技术。 可能有很多人都无法切身理解光刻机的重要地位,光刻机,是制造芯片的机器,要是没有了光刻机,我们就没有
2021-07-07 14:31
光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前有用于生产的光刻机,有用于LED制造领域的光刻机,还有用于封装的光刻机。光刻机是采用
2022-02-05 16:03
的呢? 抛开复杂的不说哈,对于芯片内部的电路原理,那是半个月也讲不完(咱也不懂,只会跟着芯片手册用),但是对于芯片内部电路的 基本组成部分 ,那还是可以了解一下的。 不过不管是再复杂的芯片,它的内部都离不开一些基本电路单
2023-11-06 10:39
euv光刻机原理是什么 芯片生产的工具就是紫外光刻机,是大规模集成电路生产的核心设备,对芯片技术有着决定性的影响。小于5 nm的芯片只能由EUV光刻机生产。那么euv光刻机
2022-07-10 15:28