本文以光刻机为中心,主要介绍了光刻机的分类、光刻机的结构组成、光刻机的性能指标、
2017-12-19 13:33
关于光刻工艺的原理,大家可以想象一下胶片照片的冲洗,掩膜版就相当于胶片,而光刻机就是冲洗台,它把掩膜版上的芯片电路一个个的复制到光刻胶薄膜上,然后通过刻蚀技术把电路“画”在晶圆上。 当然
2020-07-07 14:22
纳米级别的分辨率。本文将详细介绍光刻机的主要组成部分及其功能。 光源系统 光源系统是光刻机的心脏,负责提供曝光所需的能量。早期的光刻机使用汞灯作为光源,但随着技术的
2025-01-07 10:02
数控机床的基本组成、组成部分 数控机床一般由控制介质、数控装置、伺服系统和机床本体组成。图1—2的实线所示为开环控制的数控机床框图。
2009-05-06 21:38
!光刻机本身的原理,其实和相机非常相似,同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理,是被摄物体被光线照射所反射的光线,透过相机的镜头,将影像投射并聚焦在相机的底片(感光元件)上,如此便可
2020-09-02 17:38
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类,光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
示波器是一种用来测量交流电或脉冲电流波的形状的电子仪器,用途十分广泛。那么示波器是由哪些部分组成呢?接下来给大家简单介绍下关于示波器的组成部分。 (一)显示电路 显示电路包括示波管及其控制电路两个
2022-09-23 15:34
目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
无线数据收发器一般有哪几个基本组成部分呢?以无线数据收发器为例,向大家介绍它的组成结构。无线数据收发器一般由发射机、接收机
2019-07-16 22:24
无线数据收发器一般有哪几个基本组成部分呢?以无线数据收发器为例,向大家介绍它的组成结构。无线数据收发器一般由发射机、接收机
2018-09-04 09:01