实际过程肯定没这么简单,上图是ASML典型的沉浸式步进扫描光刻机为例来看下光刻机是怎么工作的——首先是激光器发光,经过矫正、能量控制器、光束成型装置等之后进入光掩膜台,
2020-07-07 14:22
!光刻机本身的原理,其实和相机非常相似,同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理,是被摄物体被光线照射所反射的光线,透过相机的镜头,将影像投射并聚焦在相机的底片(感光元件)上,如此便可
2020-09-02 17:38
据羊城晚报报道,近日中芯国际从荷兰进口的一台大型光刻机,顺利通过深圳出口加工区场站两道闸口进入厂区,中芯国际发表公告称该光刻机并非此前盛传的EUV光刻机,主要用于企业复工复产后的生产线扩容。我们知道
2021-07-29 09:36
)是LED晶圆激光刻划的最佳选择。尽管准分子激光器也可以实现LED刻划所需的波长,但是倍频的全固态调Q激光器体积更小,较准分子激光器维护少得多,质量方面全固
2011-12-01 11:48
如果国家以两弹一星的精神投入光刻机的研发制造,结果会怎样?
2020-06-10 19:23
电子直写光刻机驻极体圆筒聚焦电极 随着科技进步,对电子显微镜的精度要求越来越高。电子直写光刻机的精度与电子波长和电子束聚焦后的焦点直径有关,电子波长可通过增加加速电极电压来减小波长,而电子束聚焦后
2025-05-07 06:03
之一摩尔曾在1965年作出预言:半导体将会得到高速发展,电子学会随之获得广泛的普及,渗透到宽广的应用领域中。从半个世纪之后再往回看,这一预言早已得到了完美印证。虽然光纤激光器优势市场潜力很大,不过
2019-05-13 05:50
X射线激光器被称作自由电子激光器。与传统激光器不同,自由电子激光器并不是通过光照或电流刺激某种物质发射光子,而是使用粒子加速器
2019-10-23 09:12
液体激光器与大多数固体和气体激光器经长期努力而后发明形成对照的是,这种激光器的发明颇具偶然性。1962年,休斯公司实验室研究人员伍德布利(Woodbury)等用液态硝基苯染料盒对红宝石
2019-09-23 09:02
1、 引言 所谓高功率光纤激光器是相对于光纤通讯中作为载波的低功率光纤激光器而言( 功率为mW级),是定位于机械加工、激光医疗、汽车制造和军事等领域的高强度光源。高功率光纤激
2018-11-02 15:59