作为光刻工艺中最重要设备之一,光刻机一次次革命性的突破,使大模集成电路制造技术飞速向前发展。了解提高光刻机性能的关键技术以及了解下一代光刻技术的发展
2020-08-28 14:39
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类,光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
不会有我们现在的手机、电脑了。 光刻机是用于芯片制造的核心设备,按照用途可以分为用于生产芯片的光刻机、用于封装的光刻机和用于LED制造领域的投影光刻机。
2021-07-07 14:31
目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
光刻机是芯片制造的重要设备,内部结构精密复杂,它决定着芯片的制程工艺,是芯片生产中不可少的关键设备,而且光刻机的技术门槛极高,整个设备的不同部位采用了世界上最先进的技术
2021-12-30 09:46
根据芯思想研究院(ChipInsights)的数据表明,2020年全球集成电路、面板、LED用光刻机出货约58台,较2019年增加3台。其中集成电路制造用光刻机出货约410台;面板、LED用光刻机出货约170台。
2021-02-24 16:56
光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前有用于生产的光刻机,有用于LED制造领域的光刻机,还有用于封装的光刻机。光刻机是采用
2022-02-05 16:03
euv光刻机原理是什么 芯片生产的工具就是紫外光刻机,是大规模集成电路生产的核心设备,对芯片技术有着决定性的影响。小于5 nm的芯片只能由EUV光刻机生产。那么euv光刻机
2022-07-10 15:28
荷兰作为光刻的生产大国,很多人纷纷都在问为什么荷兰能生产二中国不行.本文主要分析了中国光刻机的发展分析以及与荷兰之间的差距,详细的说明了荷兰光刻机为什么厉害,为何
2017-12-19 14:56
半导体器件被广泛应用于从智能手机到汽车等各个领域,在其制造过程中半导体光刻机必不可少。你知道吗,日本首台半导体光刻机发售已经50周年了。
2020-01-16 08:36