9月28日晚间,晶瑞股份发布公告称,将开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目。为此,晶瑞股份拟通过Singtest Technology PTE. LTD.进口韩国SK Hynix的ASML光刻机
2020-10-10 10:10
对于芯片制造厂商来说,光刻机的重要性不言而喻,尤其是目前芯片制造工艺已经提升至5nm和3nm之后,极紫外光刻机就显得更为重要。而ASML作为全球唯一有能力制造极紫外光刻机的厂商,他的一举一动,牵动着所有相关产业上下游
2020-04-15 15:44
台积电前不久试产了7nm EUV工艺,预计明年大规模量产,三星今天宣布量产7nm EUV工艺,这意味着EUV工艺就要正式商业化了,而全球最大的光刻机公司荷兰ASML为这一天可是拼了20多年。
2018-10-19 10:49
半导体用光刻机公司, 光刻机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空, 因为设备整体较大, 需要对构成光刻机的真空相关部件进行检漏且要求清洁无油, 满足无尘室使
2022-08-04 17:18 伯东企业(上海)有限公司 企业号
实际过程肯定没这么简单,上图是ASML典型的沉浸式步进扫描光刻机为例来看下光刻机是怎么工作的——首先是激光器发光,经过矫正、能量控制器、光束成型装置等之后进入光掩膜台,上面放的就设计公司做好的光掩膜
2020-07-07 14:22
!光刻机本身的原理,其实和相机非常相似,同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理,是被摄物体被光线照射所反射的光线,透过相机的镜头,将影像投射并聚焦在相机的底片(感光元件)上,如此便可
2020-09-02 17:38
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类,光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
头在技术上和业务上是彼此竞争的关系。 在荷兰,有一家公司,不是这三大半导体巨头的客户,但这三大巨头不光不敢得罪,还要努力讨好。这家荷兰的公司就是阿斯麦(ASML.O),全球唯一一家成功开发EUV光刻机的
2018-09-28 09:44
目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
中国芯的进步那是有目共睹,我国在光刻机,特别是在EUV光刻机方面,更是不断寻求填补空白的途径。
2022-07-05 10:38