本文介绍了白光干涉仪的故障现象和原因与检修方法还介绍了白光干涉仪的维护方法。
2019-08-08 10:46
激光干涉仪以光波为载体,利用激光作为长度基准,是高精度、高灵敏度的测量仪器。激光干涉仪不仅广泛用于高端装备如数控机床、激光切割机、光刻机等，在计量检定领域也能大展身手。
2022-09-15 13:34
本文首先介绍了白光干涉仪是什么，然后介绍了白光干涉仪的特点，最后分析了白光干涉仪的工作原理。
2019-08-08 10:33
引言 在半导体制造与微纳加工领域，光刻图形线宽变化直接影响器件性能与集成度。精确控制光刻图形线宽是保障工艺精度的关键。本文将介绍改善光刻图形线宽变化的方法，并探讨白光干涉仪
2025-06-30 15:24
根据激光干涉仪的原理，我们可以清楚知道，激光干涉仪是用来检测设备的运动精度的，SJ6000激光干涉仪目前在机床、直线电机、滑台、模组、自动化设备、机器人等领域广泛应用。
2019-06-09 08:22
