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  • 白光干涉仪的故障与检修_白光干涉仪维护

    本文介绍了白光干涉仪的故障现象和原因与检修方法还介绍了白光干涉仪维护方法。

    2019-08-08 10:46

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    2022-03-08 09:07 中图仪器 企业号

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    2022-09-15 13:34

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    光刻机的工作台是一个六自由度的运动台,其中X/Y向运动台是的核心基础工序。管控XY轴角度Yaw和Pitch,直线度Horizontal Straightness和Vertical

    2023-02-20 15:49 中图仪器 企业号

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    2019-08-08 10:33

  • 天文光干涉仪

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    2024-12-25 15:26

  • 激光干涉仪原理

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    2017-06-21 08:55

  • 改善光刻图形线宽变化的方法及白光干涉仪光刻图形的测量

    引言 在半导体制造与微纳加工领域,光刻图形线宽变化直接影响器件性能与集成度。精确控制光刻图形线宽是保障工艺精度的关键。本文将介绍改善光刻图形线宽变化的方法,并探讨白光干涉仪

    2025-06-30 15:24

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    2019-06-09 08:22

  • FRED应用:天文光干涉仪

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    2025-04-29 08:52