大家都知道，芯片制造的核心设备之一就是光刻机了。现在，全球最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机，那么euv光刻机目前几纳米
2022-07-10 11:17
光刻机用纳米位移系统设计
2025-02-06 09:38
从2009年开始算起，中国研究团队一路攻坚克难，国产首套90纳米高端光刻机已于近期第一次成功曝光。2022年左右有望完成验收。这意味着，中国半导体材料和设备（工艺技术）产业又向前跨出了关键一大步
2018-04-10 10:57
最近光刻机十分火，我们经常听到别人说7纳米光刻机、5纳米光刻机，但其实严
2020-10-19 11:42
、真空镀膜的国产化率达到10-30％，在原子层沉积、光刻、量测检测、离子注入的国产化率暂时低于5％。还有很长的路要走，还有很多创新要去发力，还有很多的困难要去克服。 对
2023-08-09 11:50
众所周知，光刻机一直处于垄断地位，在光刻机领域，最有名的就是ASML公司了。
2022-07-04 11:21
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类，光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
的飞机在任意时刻的飞行位置偏差不超过一个微米。如此极端的性能指标，使光刻机双工件台成为当之无愧的“精密机械之王”，其制造也成为世界级难题。 华卓精科肩负双工件台国产化这一
2018-10-14 11:15
目前，光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线，EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术，EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
我国正加速实现中高端光刻机的国产化。近日，亦庄企业北京国望光学科技有限公司增资项目在北京产权交易所完成。通过此次增资，国望光学引入中国科学院长春光学精密机械与物理研究所和中国科学院上海光学精密机械
2019-08-12 16:22
