量/需求量的上升。 现在所用的193nm光源DUV其实是2000年代就开始使用的了，然而在更短波长光源技术上卡住了，157nm波长的光刻技术其实在2003年就有光刻机
2020-07-07 14:22
十六分之一后成像（影像复制）在预涂光阻层的晶员（wafer）上。 对比相机和光刻机，被拍摄的物体就等同于微影制程中的光罩，聚光镜就是单反镜头，而底片（感光元件）就是预涂光阻层的晶圆。 是的
2020-09-02 17:38
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造，光刻机作为集成电路制造中最关键的设备，对芯片制作工艺有着决定性的影响，被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”，根据之前中芯国际的公报，目...
2021-07-29 09:36
是分步投影光刻机.利用分步投影光刻机,再结合移相掩膜等技术,已经得到了最小线宽0.10微米的图形。 ◆接近式暴光与接触式暴光相似,只是在暴光时硅片和掩膜版之间保留有很小的间隙,这个间隙一般在10~25
2012-01-12 10:56
如果国家以两弹一星的精神投入光刻机的研发制造，结果会怎样？
2020-06-10 19:23
电子直写光刻机驻极体圆筒聚焦电极 随着科技进步，对电子显微镜的精度要求越来越高。电子直写光刻机的精度与电子波长和电子束聚焦后的焦点直径有关，电子波长可通过增加加速电极电压来减小波长，而电子束聚焦后
2025-05-07 06:03
5G技术方兴未艾，各种候选技术获得业界的广泛关注。本文结合高频技术在5G中的应用场景和关键
2019-08-16 07:27
一、5G特点 5G网络的峰值速度比4G高出20倍。新的编码技术、超密集组网、高带宽、高速率、低时延，5G应用将深刻地影
2020-08-06 17:29
`“5G网络比较现在4G网络，5G网络的峰值速度比4G高出20倍。新的编码技术、超密集组网、高带宽、高速率、低时延，
2020-09-01 16:48
技术，作为曾经开天辟地的先驱，值得我们尊敬。这些先驱为移动通信植入了蜂窝通信的基因，即使到了5G时代也依然在传承。然而，这些标准各自为政，没法互通，收费还死贵，当时的电话大哥大成了土豪专用，离我们这样
2018-01-20 12:36
