关于光刻工艺的原理,大家可以想象一下胶片照片的冲洗,掩膜版就相当于胶片,而光刻机就是冲洗台,它把掩膜版上的芯片电路一个个的复制到光刻胶薄膜上,然后通过刻蚀技术把电路“画”在晶圆上。 当然
2020-07-07 14:22
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造,光刻机作为集成电路制造中最关键的设备,对芯片制作工艺有着决定性的影响,被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”,根据之前中芯国际的公报,目...
2021-07-29 09:36
把被摄物体的影像复制到底片上。 而ASML光刻机在做的光刻,我们称之为微影制程,原理是将高能雷射光穿过光罩(reticle),将光罩上的电路图形透过聚光镜(projectionlens),将影像缩小
2020-09-02 17:38
图形反转工艺用于金属层剥离的研究研究了AZ?5214 胶的正、负转型和形成适用于剥离技术的倒台面图形的工艺技术。用扫描电镜和台阶仪测试
2009-10-06 10:05
`电子工艺实习--电路板制作工艺`
2017-02-24 13:18
INTEL芯片制作工艺流程[hide] [/hide]
2009-09-21 16:43
是分步投影光刻机.利用分步投影光刻机,再结合移相掩膜等技术,已经得到了最小线宽0.10微米的图形。 ◆接近式暴光与接触式暴光相似,只是在暴光时硅片和掩膜版之间保留有很小的间隙,这个间隙一般在10~25
2012-01-12 10:56
单片机制作工具大汇总!!单片机制作工具大汇总!!!这是一个神奇的帖子,我不会放很多的资料出来,我只放一个列表,大家需要哪个资料就回复告诉我,我再上传,然后先上传几个工具给大家玩玩:可以到闯客网技术论坛下载,下面是参与本次分享的选手,如果急需的话,
2021-11-09 08:45
本帖最后由 eehome 于 2013-1-5 09:57 编辑 双极型制作工艺
2012-08-20 07:51
等敏感,具有在显影液中溶解性的性质,同时具有耐腐蚀性的材料。一般说来,正型胶的分辩率高,而负型胶具有高感光度以及和下层的粘接性能好等 特点。光刻工艺精细图形(分辩率,清晰度),以及与其他层的图形有多高
2019-08-16 11:11