本文介绍了用来提高光刻机分辨率的浸润式光刻技术。 芯片制造：光刻技术的演进 过去半个多世纪，摩尔定律一直推动着半导体技术的发展，但当
2024-11-24 11:04
在EUV光刻机方面，荷兰ASML（阿斯麦）公司垄断了目前的EUV光刻机，去年出货26台，创造了新纪录。据报道，ASML公司正在研发新一代EUV光刻机，预计在2022年开始出货。
2020-03-17 09:13
一、2021年的交付量将是2019年的两倍左右 据国外媒体报道，在推出两代极紫外光刻机之后，阿斯麦公司又已在研发下一代极紫外光刻机，计划2022年年初开始出货。 阿斯麦是在2019年的年报中，披露
2020-03-18 09:16
光刻机的分辨率受光源波长（λ）、工艺因子（k1）和数值孔径（NA）三个主要参数的影响。根据瑞利第一公式（CD = k1*λ/NA），这三个参数共同决定了光刻机的分辨率。
2024-11-28 09:58
3nm制程，据了解，更加先进的制程就需要更先进的光刻机来完成了。 光刻机厂商ASML为此正在研发新一代High NA EUV光刻机，这种EUV光刻机的NA数值孔径比现在
2022-06-28 15:07
据韩媒报道称，ASML正积极投资研发下一代EUV光刻机，与现有光刻机相比，二代EUV光刻机最大的变化就是High NA透镜，通过提升透镜规格使得新一代光刻机的微缩
2019-08-07 11:24
数值孔径，是影响分辨率(R)，焦深（DOF）的重要参数，公式为： R=k1⋅λ/NA DOF=k2⋅λ/NA2 其中，λ为波长，k1,k2均为工艺因子。从公式可以看出：提高NA可以提升光刻分辨率，增大NA
2025-01-20 09:44
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类，光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
目前，光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线，EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术，EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
贴片机的高分辨率是保证贴片机的基础，如同一台分辨率高的仪器是保证测量的基础一样。但是分辨率不与直接关联，贴片
2023-09-15 15:03
