本文以光刻机为中心，主要介绍了光刻机的分类、光刻机的结构组成、光刻机的性能指标、光刻机的工艺流程及工作原理。
2017-12-19 13:33
分辨率增强及技术(Resolution Enhancement Technique, RET)实际上就是根据已有的掩膜版设计图形，通过模拟计算确定最佳光照条件，以实现最大共同工艺窗口(Common Process Window)，这部分工作一般是在新光刻工艺研发的
2024-10-18 15:11
分辨率可以从显示分辨率与图像分辨率两个方向来分类。
2024-01-15 11:12
作为光刻工艺中最重要设备之一，光刻机一次次革命性的突破，使大模集成电路制造技术飞速向前发展。了解提高光刻机性能的关键技术以及了解下一代光刻技术的发展情况是十分重要的。
2020-08-28 14:39
光刻机是芯片制造中光刻环节的核心设备， 技术含量、价值含量极高。 光刻机涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密物料传输、高精度微环境控制等多项先进技术，是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备，因此也具备极高的单台价
2018-04-10 10:19
光刻机是芯片制造最为重要的设备之一。目前，ASML垄断了全世界的高端光刻机。中国一直以来都想掌握光刻机技术，但是上海微电子经过17年的努力，才造出90nm的光刻机，这
2020-01-29 11:07
谈到显微成像系统，常常会用分辨率来评价成像能力的高低，那分辨率到底指的是什么，又怎样计算呢？其实对于一个特定的显微成像系统，分辨率要从两个方面来考虑，一种是光学系统的分辨率
2024-01-09 09:54
低带宽、高分辨率ADC的有效位数计算方法因公司而异，而器件的有效位数受噪声限制。有些公司规定使用有效分辨率来表示有效位数，ADI则规定使用峰峰值分辨率。
2023-10-10 15:44
光刻机（Mask Aligner） 又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。
2020-10-16 10:33
1、1080P指的是分辨率，50和60Hz是帧速率。2、分辨率又叫帧尺寸，跟视频的清晰度有关系，我们平常说的1080P一把都是1920*1080。
2018-05-16 09:45
