光刻机掩膜台微动台调平控制系统设计_何良辰
2017-01-28 21:37
光刻机E_Pin升降机构的控制系统设计_徐加彦
2017-01-19 21:54
微细图形加工技术是集成电路向高集成化发展的关键, 其中图形曝光对准是很主要的。由于接触式光刻机的精度高、设备造价低, 所以在集成电路制造中被广泛采用。但是, 随着大规模集
2011-10-28 17:19
光刻机扫描曝光模型 扫描曝光过程的抽象模型如图 1 所示 。激光器发出的脉冲光束经过光路传输系统， 从开口大小可调的狭缝中投影到工件台上， 形成投影光斑 。当曝光场前沿与光斑前沿重合时 ，扫描开始
2017-09-30 15:59
微光学与微电子光学装备研制是中国科学院光电技术研究所的重点学科之一，不仅拥有一支总体设计水平高，光、机、电配套，积累了丰富经验的科研队伍，还拥有一支实力雄厚
2009-12-14 10:26
据羊城晚报报道，近日中芯国际从荷兰进口的一台大型光刻机，顺利通过深圳出口加工区场站两道闸口进入厂区，中芯国际发表公告称该光刻机并非此前盛传的EUV光刻机，主要用于企业复工复产后的生产线扩容。我们知道
2021-07-29 09:36
和荷兰学习交流，学他的技术，当然要付出代价，比如财富和他想要的东西，真诚相待，会成功的，还可以引进的的人才和技术，在和他学艺，联姻，总之就是把技术学到手。
2022-11-20 08:48
主要介绍了集成门极换流晶闸管(IGCT)的光刻技术。IGCT器件的光刻次数多，精度要求高，如何保证光刻质量是关键。根据IGCT光刻的特点，从
2010-06-24 16:48
一、光刻胶的选择光刻胶包括两种基本的类型：正性光刻和负性光刻，区别如下
2021-01-12 10:17
有人知道 为什么光刻完事 剥离那么容易脱落呢 怎么避免呢
2012-06-26 12:40
