EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造,光刻机作为集成电路制造中最关键的设备,对芯片制作工艺有着决定性的影响,被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”,根据之前中芯国际的
2021-07-29 09:36
时期用上EUV光刻,国内的中芯国际也从ASML订购了一台EUV光刻机,但因为种种问题,现在交货时间还未明确。
2020-07-07 14:22
中芯国际的芯片工艺目前已发展至14nm,若想将芯片工艺进一步提升至7nm乃至3nm等先进制程,EUV
2021-03-10 14:36
十六分之一后成像(影像复制)在预涂光阻层的晶员(wafer)上。 对比相机和光刻机,被拍摄的物体就等同于微影制程中的光罩,聚光镜就是单反镜头,而底片(感光元件)就是预涂光阻层的晶圆。 是的
2020-09-02 17:38
据中国证券报报道,3月6日下午从中芯国际获悉,日前中芯国际深圳工厂从荷兰进口了一台大型光刻机,但这是设备正常导入,用于产能扩充,并非外界所称的EUV
2020-03-07 10:55
光刻机和euv光刻机区别是是什么呢? duv光刻机和euv光刻机区别 1.基本上duv只能做到25nm,而euv能够做到
2022-07-10 14:53
5nm光刻技术与ASML光刻机有何区别? EUV光刻机产能如何? 大飞_6g(听友) 请问谢博士,EUV光刻机的产能是怎
2021-03-14 09:46
格芯首席技术官Gary Patton表示,如果在5nm的时候没有使用EUV光刻机,那么光刻的步骤将会超过100步,这会让人疯狂。所以所EUV
2019-09-03 17:18
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类,光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
作为近乎垄断的光刻机巨头,ASML的EUV光刻机已经在全球顶尖的晶圆厂中获得了使用。无论是英特尔、台积电还是三星,EUV光刻机的购置已经是生产支出
2021-12-01 10:07