一、光刻胶的选择光刻胶包括两种基本的类型:正性光刻和负性光刻,区别如下
2021-01-12 10:17
第二章对芯片制造过程有详细介绍,通过这张能对芯片制造过程有个全面的了解 首先分为前道工序和后道工序 前道工序也称扩散
2024-12-16 23:35
,三合一工艺平台,CMOS图像传感器工艺平台,微电机系统工艺平台。 光掩模版:基板,不透光材料 光刻胶:感光树脂,增感剂,溶剂。 正
2025-03-27 16:38
。 光刻工艺、刻蚀工艺 在芯片制造过程中,光刻工艺和刻蚀
2025-04-02 15:59
。 光刻则是在晶圆上“印刷”电路图案的关键环节,类似于在晶圆表面绘制半导体制造所需的详细平面图。光刻的精细度直接影响到成
2024-12-30 18:15
,该分布范围越窄,光刻胶的性能越好。 ③ 抗刻蚀性能。光刻胶在集成电路制造工艺中的抗刻蚀性能主要有两个 [6]:一是耐化
2018-08-23 11:56
关于光刻工艺的原理,大家可以想象一下胶片照片的冲洗,掩膜版就相当于胶片,而光刻机就是冲洗台,它把掩膜版上的芯片电路一个个的复制到光刻胶薄膜上,然后通过刻蚀技术把电路
2020-07-07 14:22
`书籍:《炬丰科技-半导体工艺》文章:GaN 纳米线制造和单光子发射器器件应用的蚀刻工艺编号:JFSJ-21-045作者:炬丰科技网址:http://www.wetsemi.com
2021-07-08 13:11
湿法蚀刻工艺的原理是使用化学溶液将固体材料转化为液体化合物。选择性非常高,因为所用化学药品可以非常精确地适应各个薄膜。对于大多数解决方案,选择性大于100:1。
2021-01-08 10:12
总是多次反复进行。例如,大规模集成电路要经过约10次光刻才能完成各层图形的全部传递。 在狭义上,光刻工艺仅指光复印工艺。曝光方式 常用的曝光方式分类如下: 接触式
2012-01-12 10:51