近年来,等离子体技术的使用范围正在不断扩大。在半导体制造、杀菌消毒、医疗前线等诸多领域,利用等离子体特性的应用不断壮大。CeraPlas® 是TDK 开发的等离子体发生器
2023-02-27 17:54
针对传统直流等离子体发生器电源效率不高、驱动管热损耗大等问题,设计了一个高效率低损耗的高频高压等离子体发生器。该系统通过移相全桥控制电路进行PWM方波控制,在功率晶体管
2019-09-09 17:45
射频等离子体(RF等离子体)是在气流中通过外部施加的射频场形成的。当气体中的原子被电离时(即电子在高能条件下与原子核分离时),就会产生等离子体。这种电离过程可以通过各种方法实现,包括热、电和电磁
2025-01-03 09:14
本文介绍了为什么干法刻蚀又叫低温等离子体刻蚀。 什么是低温等离子体刻蚀,除了低温难道还有高温吗?
2024-11-16 12:53
电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma, ICP)是一种常用的等离子体源,广泛应用于质谱分析、光谱分析、表面处理等领域。ICP等离子体通过感应耦合方式将射频能量传递给气体,激发成
2024-09-14 17:34
的污染物发生化学反应,从而去除或改变污染物的化学性质。 物理轰击 :等离子体中的离子和中性粒子可以对材料表面进行物理轰击,通过撞击力去除表面的污染物。 紫外光照射 :等离子体
2024-11-29 10:03
等离子体的定义 等离子体是一种由离子、电子和中性粒子组成的电离气体。在这种状态下,物质的部分或全部原子被电离,即原子核与电子分离,形成了带正电的离子和自由移动的电子。这
2024-11-29 10:06
等离子体工艺是干法清洗应用中的重要部分,随着微电子技术的发展,等离子体清洗的优势越来越明显。文章介绍了等离子体清洗的特点和应用,讨论了它的清洗原理和优化设计方法。最后分析了等离
2023-10-18 17:42
恒星、闪电、极光等现象中。在人工环境中,等离子体可以通过加热气体至高温或通过电场加速气体分子来产生。 等离子体发射器的工作原理 等离子体发射
2024-11-29 10:11
带正电荷的离子和带负电荷的电子是在电离过程中由中性粒子成对产生的,因此整个等离子体呈电中性。 等离子体按照温度可分为高温等离子体和
2025-01-20 10:07