EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造,光刻机作为集成电路制造中最关键的设备,对芯片制作工艺有着决定性的影响,被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”,根据之前中芯
2021-07-29 09:36
中芯国际的芯片工艺目前已发展至14nm,若想将芯片工艺进一步提升至7nm乃至3n
2021-03-10 14:36
时期用上EUV光刻,国内的中芯国际也从ASML订购了一台EUV光刻机,但因为种种问题,现在交货时间还未明确。
2020-07-07 14:22
据中国证券报报道,3月6日下午从中芯国际获悉,日前中芯国际深圳工厂从荷兰进口了一台大型
2020-03-07 10:55
中国晶圆厂,ASML对此表示乐观。 两边对比的话,这家中国公司就是中芯国际,虽然该公司的14nm工艺要到2019年初才能量产,不过国内有需求EUV
2018-05-20 10:32
十六分之一后成像(影像复制)在预涂光阻层的晶员(wafer)上。 对比相机和光刻机,被拍摄的物体就等同于微影制程中的光罩,聚光镜就是单反镜头,而底片(感光元件)就是预涂光阻层的晶圆。 是的
2020-09-02 17:38
月4日,中芯国际深圳厂区成功从ASML进口了一台大型光刻机,目前该台光刻机设备已经顺利进入深圳厂区,但让人遗憾的是这台
2020-03-13 14:31
)光刻机,价值1.2亿美元。目前,业内已达成共识,必须使用EUV光刻机才能使半导体芯片进入7nm,甚至5nm时代。今天,中
2018-05-26 01:54
5nm光刻技术与ASML光刻机有何区别? EUV光刻机产能如何? 大飞_6g(听友) 请问谢博士,EUV光刻机的产能是怎
2021-03-14 09:46
ASML澄清:中芯国际批量购买光刻机,仅限DUV!近日,中芯
2021-03-14 09:21