据羊城晚报报道,近日中芯国际从荷兰进口的一台大型光刻机,顺利通过深圳出口加工区场站两道闸口进入厂区,中芯
2021-07-29 09:36
中芯国际的芯片工艺目前已发展至14nm,若想将芯片工艺进一步提升至7nm乃至3nm等先进制程,EUV光刻机设备就必不可少。那么,
2021-03-10 14:36
据中国证券报报道,3月6日下午从中芯国际获悉,日前中芯国际深圳工厂从荷兰进口了一台大型
2020-03-07 10:55
时期用上EUV光刻,国内的中芯国际也从ASML订购了一台EUV光刻机,但因为种种问题,现在交货时间还未明确。
2020-07-07 14:22
光刻机用纳米位移系统设计
2025-02-06 09:38
大家都知道,芯片制造的核心设备之一就是光刻机了。现在,全球最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机,那么euv光刻机目前几纳米
2022-07-10 11:17
十六分之一后成像(影像复制)在预涂光阻层的晶员(wafer)上。 对比相机和光刻机,被拍摄的物体就等同于微影制程中的光罩,聚光镜就是单反镜头,而底片(感光元件)就是预涂光阻层的晶圆。 是的
2020-09-02 17:38
从2009年开始算起,中国研究团队一路攻坚克难,国产首套90纳米高端光刻机已于近期第一次成功曝光。2022年左右有望完成验收。这意味着,中国半导体材料和设备(工艺技术)产业又向前跨出了关键一大步
2018-04-10 10:57
月4日,中芯国际深圳厂区成功从ASML进口了一台大型光刻机,目前该台光刻机设备已经顺利进入深圳厂区,但让人遗憾的是这台
2020-03-13 14:31
ASML澄清:中芯国际批量购买光刻机,仅限DUV!近日,中芯
2021-03-14 09:21