EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造，光刻机作为集成电路制造中最关键的设备，对芯片制作工艺有着决定性的影响，被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”，根据之前中
2021-07-29 09:36
中芯国际的芯片工艺目前已发展至14nm，若想将芯片工艺进一步提升至7nm乃至3nm等先进制程，EUV
2021-03-10 14:36
据中国证券报报道，3月6日下午从中芯国际获悉，日前中芯国际深圳工厂从荷兰进口了一台大型
2020-03-07 10:55
月4日，中芯国际深圳厂区成功从ASML进口了一台大型光刻机，目前该台光刻机设备已经顺利进入深圳厂区，但让人遗憾的是这台
2020-03-13 14:31
时期用上EUV光刻，国内的中芯国际也从ASML订购了一台EUV光刻机，但因为种种问题，现在交货时间还未明确。
2020-07-07 14:22
据业内最新消息，全球最大的芯片机器制造商、荷兰的AMSL证实，中国向荷兰订购一台最新型的使用EUV（极紫外线）技术的芯片制造机器光刻机，订货单位是中
2018-05-20 10:32
十六分之一后成像（影像复制）在预涂光阻层的晶员（wafer）上。 对比相机和光刻机，被拍摄的物体就等同于微影制程中的光罩，聚光镜就是单反镜头，而底片（感光元件）就是预涂光阻层的晶圆。 是的
2020-09-02 17:38
）光刻机，价值1.2亿美元。目前，业内已达成共识，必须使用EUV光刻机才能使半导体芯片进入7nm，甚至5nm时代。今天，中芯
2018-05-26 01:54
ASML澄清：中芯国际批量购买光刻机，仅限DUV！近日，中芯
2021-03-14 09:21
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类，光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
