中芯国际的芯片工艺目前已发展至14nm,若想将芯片工艺进一步提升至7nm乃至3nm等先进制程,EUV光刻机设备就必不可少。那么,中
2021-03-10 14:36
据中国证券报报道,3月6日下午从中芯国际获悉,日前中芯国际深圳工厂从荷兰进口了一台大型光刻机,但这是设备正常导入,用于产能扩充,并非外界所称的EUV
2020-03-07 10:55
月4日,中芯国际深圳厂区成功从ASML进口了一台大型光刻机,目前该台光刻机设备已经顺利进入深圳厂区,但让人遗憾的是这台光刻机
2020-03-13 14:31
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类,光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
自从芯片工艺进入到7nm工艺时代以后,需要用到一台顶尖的EUV光刻机设备,才可以制造7nm EUV、5nm等先进制程工艺的芯片产品,但就在近日,又有外媒豪言:这种顶尖的EUV极紫外光刻机,目前全球
2020-12-03 13:46
芯片是大家都关注的问题,而在芯片问题中,时刻牵动着大家的心的无疑就是光刻机了,这主要是由目前的形势决定的。在我们认识到芯片领域的短板后,光刻机就自然而然地暴露在我们的视野中了,但让我想不到的是,如今最近先进的光刻机设
2021-01-19 16:03
三星电子和ASML就引进今年生产的EUV光刻机和明年推出高数值孔径极紫外光High-NA EUV光刻机达成采购协议。
2022-07-05 15:26
ASML的极紫外光刻机(EUV),这个是当前世界顶级的光刻机设备。 在芯片加工的时候,光刻机是用一系列光源能量和形状控制手段,通过带有电路图的掩模传输光束。 光刻设备涉
2022-07-10 11:17
光刻机,是现代光学工业之花,是半导体行业中的核心技术。 可能有很多人都无法切身理解光刻机的重要地位,光刻机,是制造芯片的机器,要是没有了
2021-07-07 14:31