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  • 中科院5nm光刻技术与ASML光刻机有何区别?

    5nm光刻技术与ASML光刻机有何区别? EUV光刻机产能如何? 大飞_6g(听友) 请问谢博士,EUV

    2021-03-14 09:46

  • 中科院回应5nm光刻技术突破ASML垄断:误读

    的通讯作者、中科院研究员、博士生导师刘前公开回应称,这是一个误读,这一技术与极紫外光刻技术是两回事。 按照刘前的说法,如果超高精度激光

    2020-12-02 11:57

  • 光刻机工艺的原理及设备

    光刻技术,而GlobalFoundries当年也曾经研究过7nm EUV工艺,只不过现在已经放弃了。  而使用极紫外光(EUV)作为光源的光刻机就是EUV

    2020-07-07 14:22

  • 中科院宣布介入光刻机研发之后,ASML宣布将在中国加大布局

    无独有偶,在中科院宣布介入光刻机研发之后,ASML宣布将在中国加大布局。阿斯麦(ASML)全球副总裁、中国区总裁沈波近日对媒体表示:“ASML在中国已有700多台光刻机

    2020-10-22 18:11

  • 中科院5nm激光光刻加工方法被误读

    近日,《财经》杂志发文澄清了一个关于中科院光刻技术突破ASML的误读传言。 事情可以追溯至今年7月,中国科学院官网上发布了一则研究进展相关消息,中科院苏州所联合国家纳米

    2020-12-02 11:07

  • 中科院宣布2nm芯片光刻机是关键 中科院研发成功2nm光刻机

    就在我们在自己研制芯片得不到进展,国外的芯片被断供的困局中,中科院传来了一则振奋人心的消息:中科院的研究人员表示已经突破了设计2nm芯片的瓶颈,成功地掌握了设计2nm

    2022-06-30 09:27

  • 魂迁光刻,梦绕芯片,中国际终获ASML大型光刻机 精选资料分享

    EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造,光刻机作为集成电路制造中最关键的设备,对芯片制作工艺有着决定性的影响,被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”,根据之前中国际的

    2021-07-29 09:36

  • 中科院回应:5nm光刻技术突破ASML垄断是误读

    近日,中国科学院官网上发布的一则研究进展显示,该团队研发的新型5nm超高精度激光光刻加工方法,随后这被外界解读为,已经5nm ASML的垄断,对此相关人士也是进行了回应

    2020-12-02 09:59

  • EUV光刻机何以造出5nm芯片?

    作为近乎垄断的光刻机巨头,ASML的EUV光刻机已经在全球顶尖的晶圆厂中获得了使用。无论是英特尔、台积电还是三星,EUV光刻机的购置已经是生产支出中很大的一笔,也成了7nm

    2021-12-01 10:07

  • 全球进入5nm时代

    %,Lam Research为10亿美元,占台积电采购额的9%,迪恩士占5%,KLA占4%。ASML目前,全球仅有ASML一家公司掌握着EUV光刻机的核心技术,这也是5nm

    2020-03-09 10:13