十几年前，国际上开始对表面等离子体（surface plasma，SP）光刻法感兴趣。中科院光电所从2003年开始研究，是较早出成果的一个团队。所谓SP，光电
2018-12-06 09:50
在国家自然科学基金委、科技部和中科院的支持下，中科院半导体所吴南健研究员、张万成和付秋喻等成功研制出新型视觉芯片。
2011-09-15 09:22
通过验收，这是我国成功研制出的世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备。该***由中国科学院光电技术研究所研制，光刻分辨力达到22纳米，结合多重曝光技术后，可用于制造10纳米级别的芯片。 中科院
2018-12-01 09:29
中科院微电子研究所研制成功40GHz静态分频器 近日，中科院微电子研究所四室InP HBT 小组研制成功基于InP/InGaAs DHBT工艺的静态分频器，测试
2009-03-18 14:49
近日，来自清华大学，中国电子科技集团，航天科技集团，中科院自动化所、微电子所、半导体所等单位十余位专家组成的验收专家组齐聚中国科学院电子学研究
2012-11-09 09:24
近年来，以大规模预训练模型为代表的人工智能技术迅猛发展，为科研创新提供了全新范式。中科院高能物理研究所依托正负电子对撞机等大科学装置，积累了海量高价值实验数据，如何高效利用数据、加速成果产出，成为研究所面临的核心课题。
2025-05-06 15:19
先导专项实施7年来， 中科院 共启动实施了17项A类先导专项，24项B类先导专项，目前已有10项通过结题验收。”日前，中科院2018年度工作会议上，院长白春礼在介绍中科院战略性先导科技专项(以下简称
2018-01-31 07:42
中科院自动化所王飞跃教授作大会报告，他认为未来交通需要将有人车、遥控车、网联车、无人车通过平行驾驶理论统一成“平行汽车”，平行汽车将实现车辆的运营、监控及应急管理三结合，实现安全高效的未来出行。
2019-04-29 15:39
中科院微电子所超高压绝缘栅双极晶体管(IGBT)芯片的年轻研究团队紧张而期待。由他们设计的一款IGBT芯片，在合作伙伴——上海华虹NEC电子有限公司的工艺线上流片完成，要进行超高压
2011-12-06 10:36
基于EUV的光刻仿真及应用，致力提高中国EUV研发能力并共同培养该领域尖端人才。该联合实验室得到了北京市科学技术委员会国际科技合作专项的支持。 中科院微电子所所长叶甜春、中科院微电子
2018-12-03 07:39
