的不断提升,光刻机缩激光波长也在不断的缩小,从436nm、365nm的近紫外(NUV)激光进入到246nm、193nm的
2020-07-07 14:22
的要求则反过来,我们要确保影像要绝对清晰,就要将对焦点落在光阻上,并且确保光阻绝对不可落到景深范围之外。那ASML的光刻机景深有多大呢? 所以我们就是要把光阻移到这个100nm的范围之内,是不是有点
2020-09-02 17:38
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造,光刻机作为集成电路制造中最关键的设备,对芯片制作工艺有着决定性的影响,被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”,根据之前中芯国际的公报,目...
2021-07-29 09:36
1/3,是第一大设备供应商。据统计,去年台积电设备采购中,ASML光刻机等设备金额约为34亿美元,占台积电总采购额的33%,其次是应用材料,采购额约为17亿美元,占比16%,TEL约12亿美元,占11
2020-03-09 10:13
当前,国内单片机芯片加工精度已经到了7nm,虽然三星吹牛说要烧到3nm,但是在芯片的研究道路上,是烧钱也烧时间呀。国内单片机领域的刻蚀机设备在今年也实现了相应的突破,让国人甚是欢喜。国内单片
2018-09-03 16:48
如果国家以两弹一星的精神投入光刻机的研发制造,结果会怎样?
2020-06-10 19:23
电子直写光刻机驻极体圆筒聚焦电极 随着科技进步,对电子显微镜的精度要求越来越高。电子直写光刻机的精度与电子波长和电子束聚焦后的焦点直径有关,电子波长可通过增加加速电极电压来减小波长,而电子束聚焦后
2025-05-07 06:03
,购买或者开发EUV光刻机是否必要?中国应如何切实推进半导体设备产业的发展?EUV面向7nm和5nm节点所谓极紫外光刻,
2017-11-14 16:24
10nm、7nm等到底是指什么?芯片工艺从目前的7nm升级到3nm后,到底有多大提升呢?
2021-06-18 06:43
45 nm、300 mm晶圆厂量产45 nm MPU:(1)美国俄勒冈州Fab PID厂,2007年下半年量产;(2)美国亚利桑那州Fab 32厂,投资30亿美元,20
2019-07-01 07:22