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  • 光刻机工艺的原理及设备

    想知道为啥同一光源为什么可以衍生出这么多不同工艺节点,以Intel为例,2000年用的是180nm,而现在已经是10nm了,其实光刻机决定了半导体工艺的制程工艺,光刻机

    2020-07-07 14:22

  • duv光刻机和euv光刻机区别是什么

    光刻机和euv光刻机区别是是什么呢? duv光刻机和euv光刻机区别 1.基本上duv只能做到25nm,而euv能够做到

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    2020-09-02 17:38

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    2022-07-06 10:07

  • SK海力士已开始安装EUV光刻机,以量产10nm 1a DRAM

    据etnews报道,SK海力士已开始在其位于韩国利川的M16工厂安装EUV光刻机,以量产10nm 1a DRAM。 此前SK海力士宣布将在今年年内在M16厂建设产线以生产下一代DRAM,不过并未透露

    2021-01-20 18:19

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    中国最好的光刻机厂商上海微电子装备有限公司(SMEE)已经量产的光刻机中,性能最好的SSA600/20工艺只能达到90nm,相当于2004年上市的奔腾四CPU的水准。

    2020-03-18 10:52

  • euv光刻机目前几纳米 中国5纳米光刻机突破了吗

    大家都知道,芯片制造的核心设备之一就是光刻机了。现在,全球最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机,那么euv光刻机目前几纳米呢? 到现在,世界上最先进的

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    2017-12-19 14:56

  • 中科院5nm光刻技术与ASML光刻机有何区别?

    5nm光刻技术与ASML光刻机有何区别? EUV光刻机产能如何? 大飞_6g(听友) 请问谢博士,EUV光刻机的产能是怎

    2021-03-14 09:46