据悉,下一代EUV光刻机必须要升级下一代的高NA(数值孔径)标准,从现在的0.33 NA提升到0.55 NA,更高的NA意味着更分辨率更高,是3nm之后的工艺必备的条件。
2022-11-30 09:52
通过验收,这是我国成功研制出的世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备。该***由中国科学院光电技术研究所研制,光刻分辨力达到22纳米,结合多重曝光技术后,可用于制造10纳米级别的
2018-12-01 09:29
大体上1Xnm工艺相当于16-19nm级别、1Ynm相当于14-16nm,1Znm工艺相当于12-14nm级别。
2020-03-22 14:28
a17芯片是几纳米 a17芯片是3纳米。据了解,苹果最新的A17芯片将采用台积电的3nm工艺制程,A17
2023-09-26 11:41
生物纳米颗粒是指粒径范围为1-1000纳米的生物微粒群(如细胞外泌体、病毒、脂质体等)。由于其尺寸小,可以长期在其内循环并且透过生物屏障。
2022-08-29 16:25
纳米材料是指在三维空间中至少有一维处于纳米尺度范围(1~100nm)或由它们作为基本单元构成的材料。正是由于基本组成单位尺度小,纳米材料具有很多其他普通尺度的材料所不具
2018-01-15 10:40
就在昨天,央视传来了一个无比重大的消息,这是人类科技发展史上的里程碑式事件! 我国核聚变反应研究最具代表性的项目——大科学装置“人造太阳”,取得颠覆性的突破:热功率超过10兆瓦;等离子体储能增加到300千焦;等离子体中心电子温度首次达到1亿度。
2018-11-17 10:43
纳米电池由正负电极、电解质、聚合物隔离膜组成,纳米电池的负极材料是纳米化的天然石墨,纳米电池的正极是纳米化材料,采用由P
2019-12-03 09:05
著名的美国半导体企业格罗方德半导体股份有限公司Global Foundries宣布,将放弃未来7纳米技术的研发,这意味着未来参与 7 纳米战局的芯片大厂只剩英特尔、三星和台积电三家。
2018-10-28 09:38
在英特尔简化的工艺流程中(见图 5),该工艺首先制造出鳍式场效应晶体管(finFET)或全栅极晶体管,然后蚀刻纳米硅片并填充钨或其他低电阻金属。
2024-02-28 11:45