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  • 光刻机工艺的原理及设备

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    2020-07-07 14:22

  • 光刻机是干什么用的

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    2020-09-02 17:38

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    2021-07-29 09:36

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    2020-06-10 19:23

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    2025-05-07 06:03

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    2012-01-12 10:56

  • EUV热潮不断 中国如何推进半导体设备产业发展?

    ,购买或者开发EUV光刻机是否必要?中国应如何切实推进半导体设备产业的发展?EUV面向7nm和5nm节点所谓极紫外光刻,是一种应用于现代集成电路制造的光刻技术,它采用波

    2017-11-14 16:24

  • 国科大《集成电路先进光刻技术与版图设计优化》课程分享之二:浸没式光刻工艺缺陷种类、特征及自识别方法

    中国科学院大学(以下简称国科大)微电子学院是国家首批支持建设的示范性微电子学院,国科大微电子学院开设的《集成电路先进光刻技术与版图设计优化》课程是国内少有的研究讨论光刻

    2021-10-14 09:58

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    2018-09-03 16:48

  • 一眼看透中国半导体行业的真实水平

    ”。目前中国中微半导体的5 nm等离子体刻蚀已经通过台积电验证,与国际刻蚀巨头泛林、应用材料、东京电子、日立属于国际第一梯队,属于技术领先阵列,但是光刻机就差多了。

    2019-08-10 14:36