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  • 光刻机工艺的原理及设备

    实际过程肯定没这么简单,上图是ASML典型的沉浸式步进扫描光刻机为例来看下光刻机是怎么工作的——首先是激光器发光,经过矫正、能量控制器、光束成型装置等之后进入光掩膜台,上面放的就设计公司做好的光掩膜

    2020-07-07 14:22

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    据外媒报道,目前,俄罗斯首台光刻机已经制造完成并正在进行测试。 俄罗斯联邦工业和贸易部副部长瓦西里-什帕克(Vasily Shpak)表示,已组装并制造了第一台国产光刻机,作为泽廖诺格勒技术生产线

    2024-05-28 15:47

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    中国最好的光刻机厂商上海微电子装备有限公司(SMEE)已经量产的光刻机中,性能最好的SSA600/20工艺只能达到90nm,相当于2004年

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    2022-02-11 09:37 向欣电子 企业号

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    2021-07-28 08:33

  • 中国为什么造不出光刻机?#新知播#超级投资家#我身边的上市公司

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    2022-11-30 14:34

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      由上海建工四建集团承建的临港重装备产业区F16-01地块项目,举行了鼎泰匠芯洁净室交付ASML光刻机搬入仪式。这意味着, 首台ASML光刻机搬入,中国首座12英寸车

    2022-12-19 10:20

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    2017-12-19 14:56