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  • 光刻机工艺的原理及设备

    光刻机原型  接下来ASML在2006年推出了EUV光刻机的原型,2007年建造了10000平方米的无尘工作室,在2010年造出了第一台研发用样机NXE3100,到了2015年终于

    2020-07-07 14:22

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    2020-09-02 17:38

  • 魂迁光刻,梦绕芯片,中芯国际终获ASML大型光刻机 精选资料分享

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    2021-07-29 09:36

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    2020-06-10 19:23

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    2025-05-07 06:03

  • EUV热潮不断 中国如何推进半导体设备产业发展?

    ,购买或者开发EUV光刻机是否必要?中国应如何切实推进半导体设备产业的发展?EUV面向7nm和5nm节点所谓极紫外光刻,是一种应用于现代集成电路制造的

    2017-11-14 16:24

  • 三种常见的光刻技术方法

    是分步投影光刻机.利用分步投影光刻机,再结合移相掩膜等技术,已经得到了最小线宽0.10微米的图形。 ◆接近式暴光与接触式暴光相似,只是在暴光时硅片和掩膜版之间保留有很小的间隙,这个间隙一般在10~25

    2012-01-12 10:56

  • 美国欧盟千亿美元硬砸芯片,他们掰,中国有三个机会!

    变现,那些3纳米7纳米光刻机卖给谁,阿斯麦着急,荷兰政府着急,欧盟已经急得火上房。不是说美国、欧盟和TSMC的fab市场不够大,而是说中国有这么大Fab市场不让做。所

    2022-12-05 15:44

  • 我所了解的中国电子元器件行业

    光刻机完成的。而台积电没有使用EUV光刻机的7纳米工艺要到今年底才能量产,英特尔会更晚些。使用EUV光刻机未来可升级到更先进的5

    2018-06-13 14:40

  • 振奋!中微半导体国产5纳米刻蚀助力中国

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    2017-10-09 19:41