，ASML也被邀请进入成为EUV LLC的一份子。在1997到2003年间，EUV LLC的几百位科学家发表了大量论文，证明了EUV
2020-07-07 14:22
ASML的EUV光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备，其中10nm及以下的芯片制造，EUV光刻机必不可缺。一台
2020-10-19 12:02
目前，光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线，EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外
2022-07-10 14:53
一、电子所简介中国科学院电子学研究所(简称电子所)创建于1956年，是我国第一个综合型电子与信息科学技术研究所。主要从事电子与信息科学技术领域的应用基础研究和高技术创新研究，目前已形成了微波成像技术
2017-12-18 17:27
euv光刻机原理是什么 芯片生产的工具就是紫外光刻机，是大规模集成电路生产的核心设备，对芯片技术有着决定性的影响。小于5 nm的芯片只能由EUV
2022-07-10 15:28
大家都知道，芯片制造的核心设备之一就是光刻机了。现在，全球最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机，那么euv
2022-07-10 11:17
中国芯的进步那是有目共睹，我国在光刻机，特别是在EUV光刻机方面，更是不断寻求填补空白的途径。
2022-07-05 10:38
光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前世界上最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机。
2022-07-06 11:03
EUV光刻机，一直是中国芯片制造无法进一步升级的掣肘。去年9月份，时任中国科学院院长白春礼公开表态称，将集中精力攻克光刻机
2021-02-26 09:06
