%，Lam Research为10亿美元，占台积电采购额的9%，迪恩士占5%，KLA占4%。ASML目前，全球仅有ASML一家公司掌握着EUV光刻机的核心技术，这也是5nm制程必需的设备，但EUV
2020-03-09 10:13
一、电子所简介中国科学院电子学研究所(简称电子所)创建于1956年，是我国第一个综合型电子与信息科学技术研究所。主要从事电子与信息科学技术领域的应用基础研究和高技术创新研究，目前已形成了微波成像技术
2017-12-18 17:27
的不断提升，光刻机缩激光波长也在不断的缩小，从436nm、365nm的近紫外（NUV）激光进入到246nm、193nm的
2020-07-07 14:22
中国科学院大学（以下简称国科大）微电子学院是国家首批支持建设的示范性微电子学院，国科大微电子学院开设的《集成电路先进光刻
2021-10-14 09:58
招聘信息：客座学生中国科学院深圳先进技术研究院精密工程研究中心是香港中文大学精密工程研究所的同源机构，2006年成立。本中心致力于精密工程技术与应用的研究和开发，主要研究方向包括精密制造与自动化技术
2017-06-16 10:00
的要求则反过来，我们要确保影像要绝对清晰，就要将对焦点落在光阻上，并且确保光阻绝对不可落到景深范围之外。那ASML的光刻机景深有多大呢？ 所以我们就是要把光阻移到这个100nm的范围之内，是不是有点
2020-09-02 17:38
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造，光刻机作为集成电路制造中最关键的设备，对芯片制作工艺有着决定性的影响，被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”，根据之前中芯国际的公报，目...
2021-07-29 09:36
，购买或者开发EUV光刻机是否必要？中国应如何切实推进半导体设备产业的发展？EUV面向7nm和5nm节点所谓极紫外光刻，
2017-11-14 16:24
如果国家以两弹一星的精神投入光刻机的研发制造，结果会怎样？
2020-06-10 19:23
中国科学院生物物理研究所配备多台科研用磁共振扫描系统，包括3T西门子Prisma扫描系统和中国首台7T西门子全身磁共振扫描系统，以及功能完备的电磁检测和机械制造设备。目前正在联合电工所、武汉物
2017-07-18 10:25
