,所以光刻机就选择了改变光源,用13.5nm波长的EUV取代193nm的DUV光源,这样也能大幅提升光刻机的分辨率。 在上世纪90年代后半期,大家都在寻找取代193nm光刻光源的技术,提
2020-07-07 14:22
,光刻机和单反相机是相似,但两者的复杂和精密度是完全不可同日而语的。否则坊间哪来的“ASML的光刻机比氢弹更难搞”呢? 光刻机之精密 我们是不知道ASML光刻机有没
2020-09-02 17:38
中国真的研制出光子芯片吗 我国的真实实力,今天对于一个国家的重要性不言自明,而恰好我们国家的芯片研究相对滞后,西方人以此作为对我国的技术封锁的把柄,每个国家都离不开光刻机
2022-12-15 14:13
目前我们还真没有攻克尖端光刻机这个技术难题,确实被人“掐住”了脖子。大家很是着急,都盼望着祖国可以快点研制出这个神器。
2020-07-23 17:31
总有人说光刻机有什么难的?就算被封锁,凭我们自己的能力还造不出吗?在这里要特地说一下,研制光刻机,可比研制原子弹难多了。
2020-07-02 09:49
荷兰作为光刻的生产大国,很多人纷纷都在问为什么荷兰能生产二中国不行.本文主要分析了中国光刻机的发展分析以及与荷兰之间的差距,详细的说明了荷兰光刻机为什么厉害,为何
2017-12-19 14:56
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类,光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
,中国最好的光刻机厂商上海微电子装备有限公司(SMEE)已经量产的光刻机中,性能最好的SSA600/20工艺只能达到90nm,相当于2004年上市的奔腾四CPU的水准。而国外的先进水平已经达到了7纳米,正因如此,国内
2020-03-18 10:52
目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
ASML的EUV光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备,其中10nm及以下的芯片制造,EUV光刻机必不可缺。一台EUV光刻机的售价为1.48亿欧元,折合人民币高达11.74亿元
2020-10-19 12:02