就是研发NA 0.5的光学镜片，这是EUV光刻机未来进一步提升分辨率的关键，不过高NA的EUV光刻机至少是2025-2030年
2020-07-07 14:22
ASML的EUV光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备，其中10nm及以下的芯片制造，EUV光刻机必
2020-10-19 12:02
光刻机和euv光刻机区别是是什么呢？ duv光刻机和euv光刻机区别 1
2022-07-10 14:53
euv光刻机原理是什么 芯片生产的工具就是紫外光刻机，是大规模集成电路生产的核心设备，对芯片技术有着决定性的影响。小于5 nm的芯片只能由EUV
2022-07-10 15:28
EUV光刻机是在2018年开始出现，并在2019年开始大量交付，而台积电也是在2019年推出了7nm
2022-07-07 09:48
大家都知道，芯片制造的核心设备之一就是光刻机了。现在，全球最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机，那么euv
2022-07-10 11:17
中国芯的进步那是有目共睹，我国在光刻机，特别是在EUV光刻机方面，更是不断寻求填补空白的途径。
2022-07-05 10:38
中国需要光刻机，尤其是支持先进制程的高端光刻机。具体来说，就是 EUV （极紫外光源）
2020-11-11 10:13
光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前世界上最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机。
2022-07-06 11:03
光刻机是大规模集成电路生产的核心设备，它能够制造和维护需要高水平的光学和电子产业基础，全球只有少数制造商掌握了这一基础。 光刻机的作用是对芯片晶圆进行扫描曝光，对集成电路进行蚀刻。精度更高的
2022-07-10 14:35
