目前，光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线，EUV
2022-07-10 14:53
，光源是ArF（氟化氩）准分子激光器，从45nm到10/7nm工艺都可以使用这种光刻机，但是到了7nm这个节点已经的DUV光刻的极限，所以Intel、三星和台积电都会在7nm这个节点引入极
2020-07-07 14:22
euv光刻机原理是什么 芯片生产的工具就是紫外光刻机，是大规模集成电路生产的核心设备，对芯片技术有着决定性的影响。小于5 nm的芯片只能由EUV
2022-07-10 15:28
中国需要光刻机，尤其是支持先进制程的高端光刻机。具体来说，就是 EUV （极紫外
2020-11-11 10:13
ASML的EUV光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备，其中10nm及以下的芯片制造，EUV光刻机必不可缺。一台
2020-10-19 12:02
ASML的极紫外光刻机（EUV），这个是当前世界顶级的光刻机设备。 在芯片加工的时候，光刻机是用一系列光源能量和形状控制
2022-07-10 11:17
美国媒体7月19日报道，美国政府正在努力阻止荷兰ASML EUV光刻机（极紫外光刻机）进入中国大陆。 报道称，
2021-07-21 16:52
据《日经亚洲评论》（Nikkei Asian Review）援引消息人士的话称，中国芯片加工企业中芯国际（SMIC）向全球最大的芯片设备制造商——荷兰ASML订购了首台最先进的EUV（极
2018-05-26 01:54
美国华尔街日报7月19日报道，美国政府正在努力阻止荷兰ASML EUV光刻机（极紫外光刻机）进入中国大陆。 华尔街日报报
2021-07-25 17:35
中国芯的进步那是有目共睹，我国在光刻机，特别是在EUV光刻机方面，更是不断寻求填补空白的途径。
2022-07-05 10:38
