关于光刻工艺的原理,大家可以想象一下胶片照片的冲洗,掩膜版就相当于胶片,而光刻机就是冲洗台,它把掩膜版上的芯片电路一个个的复制到光刻胶薄膜上,然后通过刻蚀技术把电路
2020-07-07 14:22
芯片制造流程其实是多道工序将各种特性的材料打磨成形,经循环往复百次后,在晶圆上“刻”出各种电子特性的区域,最后形成数十亿个晶体管并被组合成电子元件。那光刻,整个流程中的一个重要步骤,其实并没有
2020-09-02 17:38
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造,光刻机作为集成电路制造中最关键的设备,对芯片制作工艺有着决定性的影响,被誉为“
2021-07-29 09:36
光刻机完成的。而台积电没有使用EUV光刻机的7纳米工艺要到今年底才能量产,英特尔会更晚些。使用EUV光刻机未来可升级到更先进
2018-06-13 14:40
如果国家以两弹一星的精神投入光刻机的研发制造,结果会怎样?
2020-06-10 19:23
一条,制衡中国芯片发展,限制阿斯麦光刻机卖中国,禁止先进EDA工具卖给中国企业和高校,把TSMC忽悠到亚利桑那建3
2022-12-05 15:44
电子直写光刻机驻极体圆筒聚焦电极 随着科技进步,对电子显微镜的精度要求越来越高。电子直写光刻机的精度与电子波长和电子束聚焦后的焦点直径有关,电子波长可通过增加加速电极电压来减小波长,而电子束聚焦后
2025-05-07 06:03
,购买或者开发EUV光刻机是否必要?中国应如何切实推进半导体设备产业的发展?EUV面向7nm和5nm节点所谓极紫外光刻,是一种应用于现代集成电路制造的
2017-11-14 16:24
制造过程中,步骤会因为不同的材料和工艺而有所差异,不过大体上皆采用这样的类似工艺过程,于是就需要用到光刻机和刻蚀机。首先,在晶圆表面沉积一层薄膜,紧接着再涂敷上光刻胶(
2018-08-23 17:34
高性能的光刻机又是一大技术瓶颈。如最先进的7纳米极紫外光刻机,目前只有荷兰一家公司能
2019-09-20 08:00