大家都知道,芯片制造的核心设备之一就是光刻机了。现在,全球最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机,那么euv光刻机目前几纳米
2022-07-10 11:17
,中国最好的光刻机厂商上海微电子装备有限公司(SMEE)已经量产的光刻机中,性能最好的SSA600/20工艺只能达到90nm,相当于2004年上市的奔腾四CPU的水准。而国外的先进水平已经达到了
2020-03-18 10:52
光刻机用纳米位移系统设计
2025-02-06 09:38
最近光刻机十分火,我们经常听到别人说7纳米光刻机、5纳米光刻机,但其实严
2020-10-19 11:42
众所周知,光刻机一直处于垄断地位,在光刻机领域,最有名的就是ASML公司了。
2022-07-04 11:21
从2009年开始算起,中国研究团队一路攻坚克难,国产首套90纳米高端光刻机已于近期第一次成功曝光。2022年左右有望完成验收。这意味着,中国半导体材料和设备(工艺技术)
2018-04-10 10:57
荷兰作为光刻的生产大国,很多人纷纷都在问为什么荷兰能生产二中国不行.本文主要分析了中国光刻机的发展分析以及与荷兰之间的差距,详细的说明了荷兰光刻机为什么厉害,为何
2017-12-19 14:56
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类,光刻设备有前道和后道之分。前道光刻
2025-01-16 09:29
目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外
2022-07-10 14:53
ASML的EUV光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备,其中10nm及以下的芯片制造,EUV光刻机必不可缺。一台EUV光刻机的售价为1.48亿欧元,折合人民币高达11.74亿元
2020-10-19 12:02