，光源是ArF（氟化氩）准分子激光器，从45nm到10/7nm工艺都可以使用这种光刻机，但是到了7nm这个节点已经的DUV光刻的极限，所以Intel、三星和台积电都会在7nm这个节点引入极紫外光（
2020-07-07 14:22
。媒体称，台积电采购的EUV光刻机已经超过30台，三星累计采购的EUV光刻机不到20台。 围绕芯片制造要用到的关键设备
2020-10-19 12:02
据悉，ASML是全球唯一能够生产EUV光刻机的厂商，年产量为40余台，台积电方面希望获得全数供应。EUV光刻机的价格昂贵，每台要价约1.3亿美元，由于是
2020-10-13 13:51
三星电子和ASML就引进今年生产的EUV光刻机和明年推出高数值孔径极紫外光High-NA EUV光刻机达成采购协议。
2022-07-05 15:26
随着半导体工艺进入10nm节点以下，EUV光刻机成为制高点，之前台积电抢购了全球多数的EUV光刻机，率先量产7nm、5n
2021-02-25 09:28
三星一方面在积极向唯一的EUV光刻机厂商ASML争取订单，另外一方面也在增资为EUV产业链输血。
2021-03-04 09:52
目前，光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线，EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外
2022-07-10 14:53
媒体称三星的目的是为了抢到ASML的EUV光刻机。 目前芯片短缺的现状大家也都清楚，再加上7nm制程以下的高端芯片只有EUV光刻
2022-06-07 14:18
euv光刻机原理是什么 芯片生产的工具就是紫外光刻机，是大规模集成电路生产的核心设备，对芯片技术有着决定性的影响。小于5 nm的芯片只能由EUV
2022-07-10 15:28
根据韩国媒体《BusinessKorea》的报道，日前三星电子副董事长李在镕前往荷兰拜访光刻机大厂ASML，其目的就是希望ASML的高层能答应提早交付三星已经同意购买的极紫外光
2020-10-24 09:37
